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GB50809-2012硅集成電路芯片工廠設計標準規范.pdf

更新時間： 2023-11-17
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硅集成電路芯片工廠設計標準規范共分八章，主要內容為：總則、術語、工藝設計、總體設計、建筑與結構、防微振、冷熱源、給排水及消防、電氣。

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